製品紹介
product
超音波ドライクリーナー VUV
- 超音波
- 非接触
- # ウェブ｜フィルム・紙・金属箔
- # フラット基材
- # 半導体
- # 電池
- # PCB・FPCB
- # 自動車
- 高性能と低ランニンコストを
兼ね揃えた
非接触超音波クリーナー - 3.0μm以上の粉塵 100％除去可
- 非接触のため、基材表面に影響なし
- 超音波の性能劣化なし
Roll to Roll工程用
（フィルムなど）
フラット基材用
01構成図
02テスト結果
- 基材
- ガラス基板
- 粉塵
- ３μm
スペーサー
ビーズ - ライン速度
- 200m/sec
- 吐出空気圧力
- 14 kPa
- 基材とのギャップ
- 1.5mm
クリーニング前
クリーニング後
伸興クリーンルームでのテスト結果であり、
粉塵の種類・テスト条件などにより除去率が変わる可能性があります。
03用途（例）
フィルム
ガラス
二次電池
LCD/OLED
プリント基板
