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世界初!
0.4mmの薄板ガラス、樹脂基板の両面クリーニングに成功!!
吸着テーブル不要の両面同時クリーニングシステム
本社クリーンルームにて立会いテストを実施しています。
テストサンプルをご持参の上、その効果をご確認ください。
▼ 特長
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| 特長 |
- 両面同時にクリーニングを行えるシステムです。後工程の装置汚染を防ぎます。
- 3ミクロンのシリカビーズは100%除去いたします。(弊社クリーンルーム内テスト評価)
- クリーナヘッドへの基板の吸い付きを防止するための吸着テーブルが不要です。装置全体でのコストダウンを実現します。
- コンベアにてガラスをスルーさせるだけなので、大幅なタクトタイム向上が可能です。
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